快速热处理炉RTP-500
真空干燥箱
旋涂仪
金属热蒸发台
电子束蒸发台
等离子增强原子层沉积(PEALD)
全自动型等离子体化学气相淀积台(PECVD-801)
标准磁控溅射台
全自动反应离子刻蚀机RIE-501
全自动感应耦合等离子体刻蚀机(ICP-5000)
标准型离子束刻蚀机(IBE-150 B)
苏斯MJB4高精度紫外曝光机
